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求滑閥式真空泵原理圖

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問 提問者：網(wǎng)友 2017-01-17
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滑閥式真空泵抽氣原理與旋片泵相似兩者結(jié)構(gòu)同滑閥式真空泵利用滑閥機(jī)構(gòu)改變吸氣腔容積故稱滑閥泵 滑閥泵亦單級泵雙級泵兩種立式臥式兩種結(jié)構(gòu)形式單級泵極限壓力0.4~1.3Pa;雙級泵極限壓力6×10-2 -10-1Pa般抽速超150L/S泵都采用單級形式種泵單獨(dú)使用作其泵前級泵用 1.工作原理 滑閥泵結(jié)構(gòu)主要由泵體及其內(nèi)部作偏轉(zhuǎn)滑閥、半圓形滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組(見圖11)圖11:滑閥式真空泵結(jié)構(gòu)原理圖泵體裝滑閥環(huán)(4)滑閥環(huán)內(nèi)裝偏輪(3)偏輪固定軸(2)軸與泵體線相重合滑閥環(huán)裝形滑閥桿(5)能半圓形滑閥導(dǎo)軌(7)滑及左右擺泵腔滑閥環(huán)滑閥桿隔A、B兩室泵運(yùn)轉(zhuǎn)程由于A、B兩室容積周期性改變使抽氣體斷進(jìn)入逐漸增容積吸氣腔;同排氣腔隨著其容積縮使氣體受壓縮并通排氣閥排泵外 雙級型滑閥泵實(shí)際由兩單級泵串聯(lián)起高、低真空室同泵體直接鑄整體壓入隔板泵腔高、低兩室
回答者：網(wǎng)友
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